穢跡金剛相關典籍最早是從唐代‧阿地瞿多於公元652到654所翻譯的《佛說陀羅尼集經‧卷九‧金剛烏樞沙摩法》開始，後來唐‧代阿質達霰（公元732年 間）譯出《穢跡金剛禁百變法經》、《穢跡金剛說神通大滿陀羅尼法術靈要門》和《大威力烏樞瑟摩明王經》後，「穢跡金剛法」即開始盛行於世。
自「會昌法難」後，唐代密法轉以秘密方式流傳於各佛寺之間，而穢跡金剛更與禪宗有大因緣，歷代祖師多秘密修持穢跡金剛法。自譯出《穢跡金剛》經典起算，下列為穢跡金剛法諸祖師大德的相關事蹟紀錄摘要：
唐‧雪峰 義存禪師傳穢跡金剛法
唐‧印度「中觀派」僧寂天法師用穢跡金剛法降伏外道
唐‧慧持大師持穢跡金剛法相應，令金剛杵飛空
唐末‧永明延壽以穢跡金剛咒為日課
北宋‧天台宗十七祖四明 知禮大師將穢跡金剛咒列入放生儀軌中
南宋‧顯超大師持穢跡金剛咒利益眾生，往生西方
北宋‧媽祖林默娘依止穢跡金剛法修得神力
南宋‧格魯派黃教宗師熱羅上師多吉紮親見「穢跡金剛」
元‧管主八（廣福大師）作穢跡金剛法偈頌，廣為流通
明‧蓮池大師編《諸經日誦》將穢跡金剛咒列入
明‧方念大師每日課誦穢跡金剛咒千餘遍
明‧性福大師持穢跡金剛咒證得肉身不壞
明‧憨山大師教授穢跡金剛咒治癒顛狂僧
清‧沈善登居士提金剛部以穢跡金剛咒為總持
清‧《禪門日誦》本收錄穢跡金剛咒
清末民初‧楊仁山居士勸持穢跡金剛咒
民國‧海燈大師為萬佛聖城宣化上人弟子傳授穢跡金剛咒
民國‧唐密穢跡金剛傳承上師寶霞法師傳授穢跡金剛咒
民國‧慧三大師廣為傳授穢跡金剛神咒
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